应用需求与挑战
在晶圆检测中,缺陷往往处于微米甚至纳米级别,直接决定良率水平。相机必须具备超高分辨率和低噪声性能,才能捕捉到颗粒、划痕和图形偏差等微小特征。晶圆表面的高反射率和干涉效应对动态范围提出了挑战,而12英寸以上晶圆的全局检测又要求相机兼具大靶面和高速扫描能力,实现效率与精度的平衡。
典型相机推荐
Gemini 8KTDI
深紫外高速TDI-sCMOS相机
Gemini 8KTDI 是鑫图面向高通量检测推出的新一代高性能TDI相机。相比上一代Dhyana TDI相机产品,它具备更高信噪比与高速成像优势,在紫外波段(266nm 63.9%,355nm 58%)和可见光波段(420nm 93.4%峰值)实现了大幅灵敏度提升。相机率先采用 100G CoF 高速接口,支持 8K@1MHz 行频,整体通量性能翻倍升级。同时,搭载稳定可靠的制冷降噪技术,有效抑制高速运行产生的热噪声,为高端设备提供更高精度与更高效率的保障。


2025-09-12
