Dhyana 9KTDI Pro
高速TDI-sCMOS相机
- 600 kHz @ 9K
- 256 级TDI
- 180 nm ~ 1100 nm
- 风冷／水冷
- CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
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产品介绍
Dhyana 9KTDI Pro（简称：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180 nm 紫外到1100 nm 近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
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180nm-1100nm 宽光谱
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
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600 kHz @ 9K 超高速线扫
Dhyana 9KTDI Pro 配备CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的54倍，显著提升设备的检测效率。Dhyana 9KTDI Pro的相机行频最高可达 9K @ 600 kHz，为行业提供快速的多级TDI线扫描解决方案。
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稳定可靠制冷降噪技术
高端挑战性检测应用中，对缺陷的检测要求非常高，即使是1~2DN的灰阶抖动都会影响检测结果。鑫图的制冷技术经过市场的长期验证，不仅能够对感光芯片实行精准的低温控制，还能使相机在长时间工作中保持±0.5℃恒定状态。如图所示，鑫图相机制冷后具有更均一的成像背景和更低的噪声水平，可以为高精度缺陷检测提供更精准可靠的数据支撑。
技术参数 >
- 型号: Dhyana 9KTDI Pro
- 传感器类型: BSI sCMOS TDI
- 传感器型号: Gpixel GLT5009BSI
- 量子效率: 82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
- 彩色 / 黑白: 黑白
- 对角线尺寸: 45.4 mm
- 有效面积: 45.36 mm x 1.28 mm
- 分辨率: 9072 ( H ) x 256 ( V )
- 像素尺寸: 5 µm x 5 µm
- 操作模式: TDI, Area
- TDI 级数: 4，8，12，32，64，96，128，160，192，224，240，248，252，256
- 扫描方向: 正向，反向，触发控制
- 电荷转移效率: ≥ 0.99993
- 位深: 12 bit, 10 bit, 8 bit
- 满阱容量: 典型值：15.5 ke- @ 12 bit，14 ke- @ 10 bit
- 动态范围: 典型值：68.7 dB @ 12 bit，63.6 dB @ 10 bit
- 最大线速: 300 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit
- 读出噪声: 7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
- 暗信号不均匀性: 典型值：1.5 e- @ 12 bit，3.5 e- @ 10 bit
- 光响应不均匀性: 典型值：0.3 %
- 制冷方式: 风冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
- 制冷温度: 低于环境温度 25 ℃
- Binning: 2 x 1 (SENSOR BIN)，2 x 2，4 x 4，8 x 8 (FPGA BIN)
- ROI: 支持
- 触发模式: 触发输入, 扫描方向输入
- 触发输出信号: Strobe out
- 触发接口: Hirose, HR10A-7R-4S
- 时间戳精度: 8 ns
- 增益: 模拟增益：x2 ~ x8, 步进 0.5，数字增益：x0.5 ~ x10, 步进 1
- 数据接口: CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
- 光学接口: M72 / 用户定制
- 电源: 12 V / 8 A
- 功耗: < 75 W
- 相机尺寸: 100 mm x 100 mm x 145 mm
- 重量: 1800 g
- 软件: SamplePro
- SDK: C++（支持GenlCam标准）
- 操作系统: Windows，Linux
- 操作环境: 工作: 温度 0~40 °C，湿度 0~85% 储存: 温度 0~60 °C，湿度 0~90%
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应用方向 >
资源下载 >
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Dhyana 9KTDI Pro 产品规格书
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Dhyana 9KTDI Pro 用户手册
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Dhyana 9KTDI Pro 结构图纸
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软件 - SamplePro （9KTDI Pro）
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驱动 - Tucsen Driver
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驱动 - eGrabber
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驱动 - KAYA
