全局快门紫外CMOS相机 Libra UV

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产品介绍

Libra UV是鑫图针对半导体高速高分辨率检测推出的紫外全局快门CMOS相机。在半导体行业中，Libra UV已成功应用在无图形晶圆检测、有图形晶圆检测、掩膜板对准以及晶圆键合等多个工艺制造和瑕疵检测环节中。除此之外,基于其宽光谱和优异的紫外响应能力，它在生物光谱分析仪器整合、医疗和电子产品检测领域也有非常广阔的应用前景。

宽光谱/紫外增强

Libra UV采用Sony背照式CMOS技术，不仅具有宽光谱（200 nm~1000 nm)优势，且在200-400 nm紫外波段还具有优异的响应能力，365 nm波段量子效率高达48%。
全局快门高速成像

Libra UV采用全局快门技术，可以清晰地捕捉快速运动中的样品；同时配备10G GigE高速接口，在810万全分辨率速度最高可达100 fps@12 bit 和 152 fps @ 8 bit，具有非常显著的高速效能优势。
紧凑型结构设计

Libra UV针对检测设备和仪器系统整合的特点，在结构设计上实现了高质量成像性能和小尺寸紧凑型空间需求的平衡。

技术参数 >

型号: Libra UV
传感器类型: CMOS
传感器型号: IMX487
光谱范围: 可见光 / 紫外可感应
黑白/彩色: 黑白
峰值量子效率: 56%@500 nm，48%@365 nm
对角线尺寸: 11 mm (2/3'')
有效面积: 7.8 mm x 7.8 mm
分辨率: 2856 (H) x 2848 (V)
像素尺寸: 2.74 μm x 2.74 μm
增益: 支持模拟增益（1~15.7）, 数字增益（15.8~126）
帧率: 152 fps @ 8 bit, 100 fps @ 10 bit, 100 fps @ 12 bit
满阱容量: 10 bit：9000 e- @ gain 1, 580 e- @ gain 15.7； 12 bit：9250 e- @ gain 1, 555 e- @ gain 15.7
读出噪声: 10 bit：3.9 e- (RMS) @ gain 1, 2.1 e- (RMS) @ gain 15.7 12 bit：2.4 e- (RMS) @ gain 1, 1.5 e- (RMS) @ gain 15.7
动态范围: 10 bit：65 dB @ gain 1, 49.1 dB @ gain 15.7； 12 bit：72 dB @ gain 1, 52 dB @ gain 15.7
快门类型: 全局快门
曝光时间: 8 bit：2 μs ~ 10 s; 10, 12 bit：3 μs ~ 10 s
暗信号不均一性: 0.38
光响应不均匀性: 0.52%
图像校正: DPC
ROI: 支持
Binning: Bin 1 x 2 (Avg and Sum), Bin 2 x 1 (Avg and Sum), Bin 2 x 2 (Sum)
时间戳精度: 1 μs
触发模式: 硬件, 软件
触发输出: 高电平, 低电平, 触发准备, 读出, 曝光
触发接口: Hirose-12-pin
数据接口: 10G GigE
位深: 8 bit, 10 bit, 12 bit
光学接口: C-Mount
电源: 12 V / 2 A, 支持POE
功耗: ≤ 12 W
相机尺寸: 45 mm x 45 mm x 74.3 mm
软件: SamplePro
SDK: C / C++ / C# / Python
操作系统: Windows / OpenEuler
操作环境: 工作环境：温度-10 ~ 40 °C, 湿度 0 ~ 85 %；储存环境：温度-20 ~ 60 °C, 湿度 0 ~ 85 %